超精密加工技術是適應現代高技術需要而發展起來的先進製造技術，它綜合應用了機械技術發展的新成果以及現代電子、傳感技術、光學和計算機等高新技術，是高科技領域中的基礎技術，在國防科學技術現代化和國民經濟建設中發揮著至關重要的作用，同時作為現代高科技的基礎技術和重要組成部分，它推動著半導體技術、光電技術、材料科學等多門技術的發展進步。超精密加工技術已成為國防工業研製現代化武器裝備的關鍵技術，也是衡量一個國家科學技術水平的重要標誌。

 

　　1 從現代幾次戰爭的特點認識超精密加工技術的重要性

　　從上個世紀九十年代開始的幾次局部戰爭中，包括*次海灣戰爭（1992年）、科索沃戰爭（1996年）、阿富汗戰爭（1999年）以及剛剛結束的第二次海灣戰爭（2003年），世界各國已經越來越清楚地認識到高科技對戰爭進程及zui終結果的影響。如果說過去的戰爭主要靠“數量”和“速度”的話，現在高科技、智能化武器則起了決定作用。高技術、智能化武器具有高能效、高精度等特點，武器的高精度必然要求其元部件的高精度，從而必須具備高精度的製造技術才能生產出來。美國及其盟國正是由於多年來大力發展包括超精密加工技術在內的先進製造技術，突破了製造技術中的許多關鍵使其發展到實用階段，才具備了生產製導、夜視設備等高技術武器的能力。

　　1.1 製導武器的大量使用和超視距攻擊能力的提高

　　剛剛結束的第二次海灣戰爭與*次海灣戰爭、科索沃以及阿富汗戰爭相比，使用製導炸彈的比例已經從6.8％、34％、66％上升到這次的接近100％，製導方式也由慣性製導（INS）向激光製導、數字景像匹配末端製導以及衛星定位係統（GPS）製導方式發展，其中應用zui廣的激光製導中所用的許多激光元件如激光反射鏡、激光陀螺腔體、非球麵透鏡等都要求非常高的精度和表麵質量，這些元件將直接影響到製導精度。激光反射鏡的高精度高反射率的平麵、數字景像匹配末端製導需用的紅外探測及接受、紅外成像（碲鎘汞）等要求的高表麵質量平麵，隻能通過超精密研磨才能進行高質量批量生產，而非球麵反射鏡和透鏡可利用CNC超精密車削、磨削及拋光製成。

　　機載雷達是空中超視距攻擊的關鍵，其中微波器件波導管的製造技術對雷達性能有重要影響，波導管的品質因素與其表麵粗糙度、精度有關，用超精密車削技術可以較容易地保證要求，從而zui終保證雷達的性能。

　　1.2 夜戰能力的提高

　　夜戰是未來戰爭空襲的主要手段，它可以使許多不受電子幹擾而使用光學瞄準係統的常規武器失效，從而減小攻擊方的傷亡。夜戰中可利用前視紅外探測器、激光測距器、微光夜視以及光柵電視等清楚的看到地麵成像。夜視設備的使用包含直升機、裝夾車輛、導彈、人員等。由於沙漠氣候炎熱，為了便於晚間作戰，這次海灣戰爭中美國為每個士兵都配備了高清晰度的夜視設備，而且與前幾次戰爭相比重量大大減輕（400G），可以直接固定在頭盔上，從而提高了士兵作戰的靈活性。上述裝置中，紅外成像是關鍵技術，其中關鍵元件碲鎘汞晶體要求很高的表麵質量（低粗糙度、無劃痕、無變質層），需要用特殊的超精密研磨（如非接觸研磨、機械化學研磨等）加工。夜視設備中同樣用到了非球麵曲麵光學元部件。

　　1.3 電子對抗技術的進步

　　第二次海灣戰爭美軍大量使用了電子幹擾和反輻射導彈壓製了伊軍的通訊與雷達，使伊軍*失去了指揮、預警等能力，由於各地駐軍失去了與指揮部的，隻能各自為戰，所以美軍的進展異常順利。電子對抗中本方的電子裝備必須具有*的抗幹擾能力與快速反應能力，利用砷化镓半導體製成的大規模集成電路與傳統的半導體矽相比，具有速度快、工作可靠、抗輻射能力強等特點。砷化镓半導體器件的製造需要一整套超精密磨削、研磨、拋光工藝以及刻劃等外延設備。此外，美國軍用大規模集成電路的刻劃必須要有一整套超精密加工及微細加工設備。

　　1.4 軍用衛星係統的發展

　　現代戰爭已經不能離開各種衛星，如偵查用間諜衛星、GPS用的衛星網等。目前世界上正在運行的衛星導航定位係統有美國的定位係統（GPS）和俄羅斯的G23N4SS，二者都提供軍碼和民碼兩種信號，主要用於戰機及作戰*的導航定位、製導以及救援服務等用途，與*次海灣戰爭相比，GPS製導占製導的比例已由10％提高到這次海灣戰爭的90％，而且與激光製導相比，GPS製導具有精度更高，不受氣候條件等外界因素幹擾等優點。但美、俄目前GPS開放的僅僅是民碼，如果不盡快發展本國的衛星導航定位係統，勢必在未來戰爭中受製於人，處於被動挨打的局麵，我國近年來也開始研製導航定位衛星正是在努力改變這種局麵。

　　衛星上的姿態控製極為重要，必須有超精密的真空無潤滑軸承，其孔軸幾何精度為毫微米級，表麵粗糙度為納米級，必須用超精密磨削與研磨才能達到。此外對於偵查用的間諜衛星，必須裝備先進的光學望遠係統、高分辨率電視攝像係統、高靈敏度紅外成像係統等，這其中高精度非球麵透鏡、高分辨率電視中的光柵、紅外成像的碲鎘汞半導體元件等都必須用超精密加工技術才能製造出來。GPS係統中也要求具有抗幹擾、反應快等特點，同樣也離不開砷化镓半導體製成的大規模集成電路。

　　1.5 軍用微型武器係統是未來的發展趨勢

　　微小型武器是20世紀90年代美國等先進工業國家開始發展的新概念武器，它不但在基礎理論、設計、製造與計量測試技術等方麵是革命性創新，而且對21世紀戰爭的模式將會帶來變革性的影響。基於微米、納米、微機電係統技術發展起來的微小型武器技術的內涵是：根據微小型武器特殊功能和特性，應用微機電係統（MEMS）、計算機、感知、控製等先進技術，通過軟、硬件接口，綜合集成為微小型武器係統的光機電一體化技術。

　　微小型武器的種類主要包括微型飛行器、微小型水下無人潛器、微小型軍用機器人技術、微小型偵察傳感器係統。微小型武器具有以下重大作用：微小型無人武器由於體積小、隱蔽性好、快速反應、機動性好、生存能力強、成本低等特點，特別適用於城市和惡劣環境下（如核、生、化戰場等）的局部戰爭。

　　由於微小型武器係統的發展，許多非矽材料以及其他結構材料的應用，隻靠傳統的（光刻掩模、電鑄、LIGA等）MEMS加工工藝已經無法滿足要求，而普通精密加工又無法滿足尺度及精度的要求，所以可以利用超精密加工技術的特點，對一些非矽結構材料進行加工，滿足使用要求。

　　2 超精密加工技術的發展思路及麵臨的任務

　　2.1 超精密加工技術的發展思路

　　對於超精密加工技術來說，zui大的需求就是國防軍事工業。我國的超精密加工技術與國外，特別是美、俄等發達國家相比，落後較多，麵臨的zui大任務是根據目前的需求如何在較短的時間內盡快提高超精密加工技術（包括設備及工藝）的水平，使之能夠適應應用要求。主要包括以下幾個方麵：

　　重視超精密加工工藝和特種超精密加工設備的研究

　　美國、俄羅斯在超精密加工技術的研究上發展思路*不同。美國充分利用其科技優勢，研製了一係列先進的超精密加工設備和超精密檢測儀器，利用這些先進的設備加工出高精度的零件。而俄羅斯則很少有非常先進的超精密加工設備，但是同樣能夠加工出所需的高精度零件，原因在於它掌握著先進的工藝。例如從有關資料分析俄羅斯研磨機的性能指標並不先進，甚至不如國內某些實驗室設備，但是他們有自己*的工裝夾具以及研磨工藝，zui終加工零件的精度及其穩定性卻優於國內。所以根據我國的國情，盲目地靠引進先進設備和儀器隻能受製於人，況且許多超精密加工設備儀器禁運。而在一定時期內要靠自行研製所有超精密加工設備和儀器也不現實，所以應該走俄羅斯的路子，即重視超精密加工工藝的研究。

　　國內目前還有進口了先進設備，卻由於工藝不過關無法加工出合格的產品的例子，如NANOFORM250非球麵超精密加工設備國內引進了有多台，但隻有某家研究所由於有以前的工藝經驗而使用效率以及使用效果較好。

　　對於一些特殊要求零件的加工，可以在現有成熟的超精密元部件如超精密主軸、高精度導軌等基礎上，並利用模塊化技術，研製一些特種超精密加工設備，這樣既能縮短研製周期，又能降低研製成本。

　　注重降低超精密加工技術研究成本，擴展超精密加工技術的應用範圍

　　由於超精密加工技術的研究需要潔淨的環境、嚴格的溫度控製、昂貴的加工設備及檢測設備，這一切都需要高投入，這在一定程度上限製了其研究和應用。可以通過各種途徑，例如應用模塊化技術降低超精密加工設備研製成本，采用局部小環境控製技術降低對整體環境的控製成本等。在此基礎上，可以將先進的超精密加工技術應用於某些民用行業，取得較好的經濟效益。

　　在國防預研的基礎上，加強應用性以及可靠性、快速響應性的研究

　　我國在八五、九五期間，在國防預研上取得了一些具有先進水平的成果，但是目前這些成果還局限於實驗室，離實際工程應用還有一定距離，或者說其加工效率以及穩定性還有待提高。所以在繼續重視先進技術預研的同時，更重要的是加強成果的應用，使之能夠及時服務於先進武器裝備係統和其它民用行業。

　　需求為牽引，強強聯合

　　由於超精密加工技術的研究是一項需要高投入的項目，所以國內各單位不能各自為戰，應當充分發揮國家重點實驗室的作用，聯合行業內的人力、物力努力提高我國的超精密加工水平。此外在現階段，根據我國的實際情況，進行超精密加工技術的研究應該強調以需求為牽引，這樣可以爭取更大的投資，也才可能更快地取得成果，直接應用於武器型號任務。

　　2.2 超精密加工技術目前麵臨的研究任務

　　超精密加工設備及工藝的研究

　　經過多年的努力，國內超精密加工設備的研製已經初具規模，包括非球麵曲麵複合加工係統在內的許多設備的指標已經達到或接近*水平，但是從設備的可靠性、可操作性等方麵來看還有一定的差距，如何更好地發揮設備的作用，需要進一步的人力、物力投入。例如，本實驗室的NANOSYS－300非球麵曲麵複合加工設備2003年5月交付用戶後，一直在生產一線服務，已經加工了多批型號任務零件，從加工精度等方麵來說完滿足用戶要求，但是從其他方麵，例如可操作性、可靠性等方麵還有許多改善餘地。所以應加強超精密加工技術可靠性、實用性技術的研究。

　　隨著科技的發展，將有更多先進的新型功能材料及結構材料得到應用，包括新型高強度、高硬度材料、智能材料、新型半導體材料等，首先要解決的是其加工問題。例如在衛星相機上用的SIC增強複合材料的加工工藝的研究，紅外材料諸如鍺、單晶矽、氟化鈣玻璃的超精密車削工藝研究，KDP晶體（激光核聚變）飛切加工工藝的研究等。

　　複雜曲麵超精密加工及檢測技術研究

　　非球麵零件的應用十分廣泛，它可以減輕光學係統重量，提高成像質量，提高係統的可靠性。特別是非軸對成非球麵曲麵的應用，更是將整個係統的性能大大提升，目前國內還不能加工此類曲麵。

　　大中型非球麵曲麵超精密加工設備及工藝研究

　　目前國外對於非球麵的加工設備已經部分解禁，如NANOFORM250國內已經進口了幾台，但是對於加工口徑在300MM以上的非球麵加工設備嚴格禁運，但是這部分零件數量在某些行業占有相當大的比例，所以盡快研製中大型非球麵曲麵超精密加工設備已經成為當務之急。包括實驗室在內的國內幾家單位對非球麵曲麵超精密加工設備及加工工藝的研究已經有了一定的技術積累，應在此基礎上聯合力量集中攻關。

　　非軸對稱光學曲麵加工設備的研製（五軸CNC超精密91桃色污下载）

　　非軸對稱光學曲麵的性能比軸對稱非球麵曲麵更加優越，目前隻有美國、俄羅斯能夠加工此類產品。國內雖有不少大專院校進行了非軸對稱光學曲麵各種加工工藝的研究，如用數控拋光、超精密車削等方法，但是還不能真正加工出產品。所以國內應加緊研製五軸CNC超精密91桃色污下载，並在此基礎上進行非軸對稱光學曲麵加工工藝的研究。

　　非球麵曲麵超精密檢測技術研究

　　非球麵檢測技術是光學非球麵加工首先要解決的關鍵問題，特別是針對我國的國情，至少在目前還隻能靠人工輔助研磨加工光學非球麵，測量問題顯得更為突出。隻有準確、快速測量出加工過程中零件的誤差，工人才有可能相應研磨從而獲得高精度的非球麵光學零件。相對於非球麵加工技術來說，其測量技術與國外相比落後更多。光學非球麵檢測技術應當具備能在鏡麵加工過程中迅速判斷麵型誤差狀況，隨機反饋給出進一步修正指令，又要解決零件的終了檢驗。

　　目前非球麵麵型測量應用zui多的方法是光波的幹涉測量法，具有較高的測量精度和較好的空間分辨率。它可以快速進行整個表麵的測量，zui高分辨率可達到亞納米級。但是對於不同的光學非球麵，必須準備相應的光學模板才能進行測量，這套測量係統通常結構非常複雜。

　　利用全息幹涉法可以測量非球麵，但是無論是采用標準非球麵還是采用計算機生成（CGH）都必須製作一張全息片，而且對於不同方程的非球麵就必須有相應的全息片。但是直到目前為止國內製作全息片的工藝還隻局限於一些傳統的工藝，對於非球麵超精密測量所需的全息片基本上依賴於進口，這極大地限製了光學非球麵零件的測試及加工。目前進口一張非球麵超精密測量用的全息片大約需要一萬多美金，而且需要告訴對方非球麵的方程，對於型號任務這就牽涉到保密等問題。特別是對於一些預研或在研以及沒有定型的項目，由於牽涉到非球麵的種類和數量較大，所需經費十分可觀，所以自行研製非球麵測量用的全息片已經成為當務之急。

　　國外目前的工藝是采用計算機直接生成測量非球麵用全息片（COMPUTERGENERATEDHOLOGRAM）並采用激光直接刻劃技術（LASERWRITINGSYSTEM）製作全息片，不僅大大降低了製作成本，而且還縮短了製作周期。zui典型的樣機德國斯圖加特大學研製的LASERPLOTTERCLWS300激光刻劃係統，激光記錄點直徑為0.5μM，徑向坐標定位精度為0.08μM（RMS），角方向定位精度為0.1S"（RMS）。

　　高精度激光刻劃係統主要包括以下幾個方麵：

　　光學部分：包括激光器、聲光調製器、自動聚焦係統以及光路總體設計及布置等；

　　機械部分：高精度空氣軸承、高精度運動導軌、隔振平台等；

　　電控部分：高精度機械係統的運動及定位控製，激光器、調製器以及自動聚焦的控製，同時包括機械、光學係統的協調控製；

　　軟件部分：機械、光學係統的控製軟件、計算機生成非球麵測量用全息片的軟件。

　　非矽材料三維微小型零件超精密加工技術的研究

　　MEMS加工技術主要有從半導體加工工藝中發展起來的矽平麵工藝和體矽工藝。八十年代中期以後利用X射線光刻、電鑄、及注塑的LIGA技術誕生，形成了MEMS加工的另一個體係。MEMS的加工技術可包括矽表麵加工和體加工的矽微細加工、LIGA加工和利用紫外光刻的準LIGA加工、微細電火花加工（EDM）、超聲波加工、等離子體加工、激光加工、離子束加工、電子束加工、立體光刻成形等。

　　但是構成這些微型機械的零件是各種各樣而紛繁複雜的，要想使微型機械性能真正地過關並達到實用的程度，必須要盡快地提高微型機械零件的製造工藝與設備的水平。目前微型機械零件的製造工藝zui為成熟的技術就是光刻，許多經典的微型機械零件製造的成果，基本上都是采用光刻或電鑄技術完成的。然而這些成熟的工藝方法所加工的微型機械零件隻能是二維的（或準三維），而實際真正的三維形狀零件用光刻技術是完成不了的。在微型機械中，存在著許多三維的微小零件，如微型模具、直徑為70μM的微小螺紋、微型齒條、直徑為50μM的銷子、各段直徑分別為200μM、100μM、50μM的階梯軸、外徑為300μM的旋轉拋物麵等，這些典型的三維微小零件的加工，不僅用光刻、三束加工等工藝方法實現不了，用傳統的機械製造係統也是不可能實現的。因此，必須針對三維微小機器的特點，開發和研製微型製造係統，在這種新概念製造係統中實現微小機器零件的加工、檢測和裝配。由微小型設備組成的製造微小型機器的係統稱為微型製造係統，其中技術難題包括微小型機器零件的加工、檢測和裝配等，關於這方麵的研究工作主要集中在日本和美國。日本在這方麵首先提出了微型桌麵工廠的概念。

　　但是加工微機械零件不一定非要用微型加工機床，例如加工儀表零件機床的特點並不是其體積有多小，而是與普通機床相比精度較高。所以微機械零件的機械加工設備的zui關鍵指標是機床的精度，況且一味地追求減小機床體積隻能加大成本。超精密加工技術由於其加工精度高、切削力小等特點，特別適合進行微機械零件的加工，這也將為微機械零件的加工開辟了一條新的途徑。

　　超精密加工技術的zui大的需求是先進的武器裝備係統，軍事需求直接推動著超精密加工技術的發展。針對我國目前超精密加工技術領域的發展狀況，應根據國情加大對超精密加工工藝以及特種超精密加工設備的研究，並力圖降低超精密加工技術的成本，拓寬超精密加工技術的應用領域。